氣浮大理石平臺(tái)是以花崗巖為基座、搭載空氣軸承實(shí)現(xiàn)無接觸懸浮運(yùn)動(dòng)的高精度運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)亞微米甚至納米級定位精度，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測、光學(xué)實(shí)驗(yàn)、精密測量等場景。
經(jīng)過長期自然時(shí)效處理，內(nèi)部應(yīng)力充分釋放。材料熱膨脹系數(shù)低，面對環(huán)境小幅溫度波動(dòng)時(shí)尺寸變化微弱；剛性高、密度均勻，無金屬材料容易銹蝕、磁化、疲勞變形的缺陷，精磨后可達(dá) 00 級、000 級高平面度，長期使用基準(zhǔn)精度不易漂移。
以潔凈干燥壓縮空氣作為介質(zhì)，運(yùn)動(dòng)部件與基座之間不發(fā)生實(shí)體接觸，消除傳統(tǒng)滾珠、滑動(dòng)導(dǎo)軌的摩擦阻力、磨損、爬行現(xiàn)象。運(yùn)動(dòng)順滑，無回程間隙，可實(shí)現(xiàn)納米級定位與重復(fù)定位精度，運(yùn)動(dòng)響應(yīng)快，適合高精度掃描、測量場景。
氣浮單元依靠空氣彈簧和氣膜緩沖，切斷地面振動(dòng)向臺(tái)面的傳遞路徑。外界低頻振動(dòng)傳入時(shí)，氣膜通過彈性形變吸收振動(dòng)能量，抑制臺(tái)面抖動(dòng)，為光學(xué)觀測、晶圓檢測、精密計(jì)量提供安靜穩(wěn)定的基準(zhǔn)環(huán)境；部分型號自帶自動(dòng)調(diào)平功能，負(fù)載變化時(shí)自動(dòng)維持臺(tái)面水平狀態(tài)。
石材臺(tái)面致密耐磨，不易起塵，耐腐蝕，無磁性；氣浮系統(tǒng)無潤滑油，不會(huì)產(chǎn)生油污污染，適配半導(dǎo)體、光學(xué)實(shí)驗(yàn)室等潔凈工況。正常維護(hù)下，石材基準(zhǔn)面使用壽命長，磨損低。
小孔節(jié)流式氣浮結(jié)構(gòu)可抑制氣錘效應(yīng)，氣膜壓力均勻穩(wěn)定；配套潔凈氣源系統(tǒng)運(yùn)行噪音低，不會(huì)對精密光學(xué)檢測、弱信號實(shí)驗(yàn)造成干擾。
功能原理
1、大理石基體原理
天然花崗巖經(jīng)過切割、粗磨、時(shí)效、精研等多道工序加工成型。石材本身礦物結(jié)構(gòu)致密均勻，自身阻尼高，能夠抑制臺(tái)面自身振動(dòng)，提供穩(wěn)定平整的幾何基準(zhǔn)，承載精密儀器、光學(xué)元件、檢測工裝，保障基準(zhǔn)平面長期穩(wěn)定。
2、氣浮系統(tǒng)工作原理
經(jīng)過過濾、干燥除油處理的壓縮空氣，通入空氣軸承(氣浮導(dǎo)軌 / 空氣彈簧支撐)，通過精密節(jié)流小孔，在大理石臺(tái)面與支撐座(或滑臺(tái)與基座)之間形成一層厚度 5~20μm 的均勻空氣薄膜。依靠氣壓支撐負(fù)載，將臺(tái)面懸浮起來，兩個(gè)接觸面脫離剛性接觸。
氣浮隔振型大理石平臺(tái)：氣浮支撐在平臺(tái)底部，主要作用是隔振，隔絕地面?zhèn)鱽碚駝?dòng)，保持臺(tái)面水平穩(wěn)定，多用于光學(xué)實(shí)驗(yàn)、精密檢測。
氣浮運(yùn)動(dòng)大理石平臺(tái)：氣浮導(dǎo)軌布置在大理石基座上，滑臺(tái)懸浮在石材臺(tái)面做直線運(yùn)動(dòng)，配合直線電機(jī)、光柵編碼器，完成高精度位移運(yùn)動(dòng)，用于半導(dǎo)體光刻、微加工、精密尺寸掃描測量。
氣膜具備彈性，當(dāng)負(fù)載或外界擾動(dòng)發(fā)生變化，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)氣壓，維持氣膜厚度穩(wěn)定，保證臺(tái)面懸浮高度、平面度不變，實(shí)現(xiàn)無摩擦、高穩(wěn)定的承載與精密運(yùn)動(dòng)。
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